Pezas de cuarzo

O cuarzo aínda está presente en todos os ámbitos do procesamento de semicondutores. Non é novo, pero é fiable e a maioría das fábricas coñecen o seu comportamento. Sempre que se controle a pureza, funciona ben nas etapas de difusión, oxidación e limpeza.

Moitas pezas de cuarzo entran en sistemas de forno ou ferramentas PECVD. A principal expectativa é a estabilidade, non necesariamente unha longa vida útil, senón un rendemento predicible. Iso adoita ser suficiente para moitos procesos estándar.

Por suposto, o cuarzo ten as súas limitacións. Pode desgastarse máis rápido en certas condicións, especialmente en comparación co SiC. Pero debido a que é relativamente doado de obter e non é demasiado caro, a xente aínda o usa bastante.