Forno de prensado en quente ao baleiro para a unión de sementes de cristal de SiC

A unión de cristais semente é un dos procesos críticos que afectan ao crecemento cristalino. Baseándose nas características da unión de cristais semente, Semixlab desenvolveu un equipo especializado de prensado en quente ao baleiro para a unión de cristais semente. Este equipo reduce eficazmente varios defectos xerados durante o proceso de unión, mellorando así o rendemento da unión de cristais semente e a calidade final dos cristais.

Ⅰ. Introdución ao equipo de prensado en quente ao baleiro para a unión de cristais de sementes

1. Úsase para a unión de cristais semente antes do crecemento do cristal de SiC;

2. As sementes unidas manteñen a adhesión a 2300 °C sen desprendemento, conseguindo unha unión 100 % sen burbullas con alta planitude e superficies de oblea limpas e libres de adsorción de impurezas;

3. A bandexa de quecemento emprega quecemento por resistencia tipo disco, o que garante unha distribución uniforme da temperatura, un funcionamento seguro e un manexo sinxelo;

4. Os sensores de presión montados debaixo da bandexa mostran con precisión a presión aplicada á peza de traballo.

II. Visión xeral funcional do equipo de prensado en quente ao baleiro con cristal de sementes

O forno de prensado en quente ao baleiro para cristais de sementes de carburo de silicio está deseñado para o prensado en quente asistido por baleiro de cristais de sementes de carburo de silicio.

1. A cámara metálica de dobre capa arrefriada por auga reduce eficazmente a temperatura da superficie do forno, minimiza os riscos a altas temperaturas e reduce o impacto ambiental;

2. Capaz de aplicar e manter presión automaticamente, carga gradual e desprazamento con control automatizado;

3. As diversas configuracións do sistema de baleiro permiten a selección de diferentes niveis de baleiro segundo os requisitos do proceso;

4. Distribución uniforme da presión e precisión do control de alta temperatura;

5. A aplicación de presión utiliza mecanismos de empuxe mecánicos de precisión para unha subministración de presión precisa e estable, garantindo un funcionamento seguro e a compatibilidade ambiental;

6. A conexión universal entre o cabezal superior da prensa e a vara de empuxe garante o paralelismo adaptativo entre o cabezal superior e a bandexa inferior durante o prensado, garantindo unha distribución uniforme da presión;

7. O cabezal de prensa superior incorpora unha aplicación de presión amortiguada para unha entrega de forza suave e delicada sen impacto, evitando a fractura da peza de traballo;

8. Sensores de temperatura integrados na interface da placa de transferencia de calor co controlador de temperatura, o que permite un control preciso da temperatura de quecemento e programático;

9. Tanto o palé como o cabezal superior da prensa incorporan dispositivos de illamento para minimizar a perda de calor.

3. Rendemento e características do equipo de prensado en quente ao baleiro con cristal de sementes de Semixlab

1. Extracción gradual ao baleiro con caudal de bombeo controlado;

2. Gran cámara para un amplo potencial de actualización;

3. Cabezal de prensa estable con funcionamento automatizado;

4. Control de liberación e aumento gradual da presión con regulación automática da pendente de presión e da receita;

5. Control preciso da temperatura con ciclos de temperatura e presión programables;

6. Parámetros de baleiro, presión e temperatura personalizables para diversos procesos de unión;

7. Unión densa con cero burbullas;

8. Taxa de rotura ultrabaixa: practicamente sen fracturas inducidas polo dispositivo;

9. Compatibilidade: Admite obleas de 6 a 12 polgadas;

10. Presión máxima descendente: 1.6 T;

11. Baleiro máximo: 5 Pa (frío);

12. Uniformidade da temperatura da plataforma de calefacción: <±3 ℃, σ <4 (a 200 ℃);

13. Flutuación da presión: <0.5 %.

Parámetros do forno de prensado en quente para a unión de sementes