Crisol revestido de carburo de tántalo
O crisol revestido de carburo de tántalo (TaC) de Semixlab está especialmente deseñado para ambientes de alta temperatura e quimicamente agresivos no procesamento de semicondutores. Enxeñado cun denso revestimento CVD de TaC, o crisol ofrece unha excelente resistencia térmica, protección contra a corrosión e estabilidade estrutural, o que o fai ideal para aplicacións de epitaxia de SiC, crecemento de GaN e CVD/ALD. Mellora a fiabilidade do teu proceso e reduce os riscos de contaminación coa nosa tecnoloxía de crisol de primeira calidade.
descrición
Servizos de Semixlab
En Semixlab, entendemos os requisitos únicos dos entornos de I+D e produción de semicondutores. Ofrecemos:
● Servizos de fabricación personalizada
Crisols feitos á medida en varias xeometrías, grosores e especificacións de revestimento para satisfacer as necesidades específicas do proceso.
● Pedidos de prototipos e lotes pequenos
Cantidades de pedido flexibles, ideais para liñas piloto, investigación académica ou desenvolvemento en fases iniciais.
● Prazos de entrega rápidos e entrega global
Os ciclos de produción rápidos e os envíos a todo o mundo axúdanse ao seu cronograma e ás súas necesidades de ampliación.
especificacións
| Propiedades físicas do revestimento de TaC | |
| Densidade | 14.3 (g/cm³) |
| Emisividade específica | 0.3 |
| Coeficiente de dilatación térmica | 6.3*10-6/K |
| Dureza (HK) | 2000 HK |
| Resistencia | 1 × 10-5 Ohmios*cm |
| Estabilidade térmica | <2500 ℃ |
| O tamaño do grafito cambia | -10~-20um |
| Grosor de revestimento | ≥20um valor típico (35um±10um) |
aplicacións
Combinando as vantaxes físicas únicas dos revestimentos tac coas excelentes propiedades do grafito de primeira calidade, o noso crisol revestido de carburo de tántalo úsase principalmente nos seguintes procesos de semicondutores:
▶ Sistemas de crisol MOCVD e HVPE
▶ Crecemento epitaxial de SiC, GaN, GaAs
▶ Recocido e fusión a alta temperatura
▶ Equipos avanzados de fabricación de obleas
O crisol revestido de TaC de Semixlab desempeña un papel fundamental na fabricación de semicondutores avanzados, especialmente en procesos que requiren estabilidade a temperaturas ultraaltas, contaminación mínima e resistencia química, como a epitaxia, o crecemento de cristais e a deposición química de vapor (CVD). Ao proporcionar unha barreira quimicamente inerte e unha resistencia térmica excepcional, os crisol revestidos de TaC garanten a integridade do proceso, a pureza do material e a lonxevidade dos equipos en varias etapas de fabricación de alta demanda.
Con dimensións personalizables, grosor de revestimento e soporte para lotes pequenos, Semixlab ofrece solucións personalizadas para satisfacer as demandas da fabricación de semicondutores avanzados. Agardamos sinceramente convertermos no seu socio a longo prazo na China.
Vantaxe competitiva
Vantaxes principais: as propiedades físicas do carburo de tántalo
O carburo de tántalo (TaC) é coñecido polo seu punto de fusión ultraalto (~3880 °C), a súa dureza excepcional e a súa inercia química, o que o converte nun revestimento protector ideal para crisois de grafito empregados en contornas de semicondutores. A aplicación do revestimento de TaC achega as seguintes vantaxes de rendemento:
● Resistencia térmica extrema
Soportan temperaturas ultraaltas sen deformación nin degradación, o que permite condicións estables para o crecemento de cristais e o procesamento a alta temperatura.
● Inercia química
Resistente a gases e ácidos halóxenos agresivos que se empregan habitualmente en procesos de epitaxia e gravado, o que evita a contaminación cruzada.
● Xeración mínima de partículas
A superficie densa e lisa da capa de TaC suprime a descamación e o desprendemento de partículas, o que garante baixas taxas de defectos en ambientes de sala limpa.
● Excelente condutividade térmica
Garante unha distribución uniforme da calor durante o procesamento do material, mellorando o rendemento e a consistencia.
Materiais base de provedores líderes
Os nosos crisois fabrícanse con substratos de grafito de alta pureza procedentes de provedores de primeiro nivel como TOYO TANSO (Xapón), o que garante a integridade estrutural e a compatibilidade do revestimento. A sinerxía entre o grafito de primeira calidade e o revestimento avanzado de TaC mellora tanto a durabilidade como o rendemento nas condicións máis esixentes.
nosos Servizos

Tenda de produtos Semixlab


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




