Barco de obleas de cerámica de carburo de silicio

A barca de obleas de cerámica de carburo de silicio é unha ferramenta de transporte de alto rendemento deseñada para a fabricación de semicondutores e procesos de enerxía fotovoltaica. Está feita de material cerámico de carburo de silicio (SiC) de alta pureza, que se obtén mediante un proceso avanzado de sinterización sen prensado. Ten unha excelente resistencia a altas temperaturas, estabilidade química e resistencia mecánica, e convértese no principal consumible na transmisión de obleas, recocido a alta temperatura e outros procesos de precisión.

1. Estabilidade en ambientes extremos

A estrutura molecular da cerámica sic confírelle unha estabilidade térmica ultraelevada, que pode manter a súa integridade estrutural nun ambiente continuo de alta temperatura de 1650 °C. En comparación cos materiais convencionais de cuarzo ou alúmina, o coeficiente de expansión térmica das bóias sic é moi baixo (só 4.5 × 10^-6/°C), evitando eficazmente a deformación ou o rachamento causado por cambios repentinos de temperatura. Na fabricación de semicondutores, esta propiedade pode reducir significativamente a desviación de desprazamento da oblea no proceso de alta temperatura e mellorar o rendemento.

2. Resistencia á corrosión sen igual

As cerámicas de carburo de silicio mostran unha forte resistencia a ácidos fortes (como o ácido fluorhídrico, o ácido sulfúrico), bases fortes e gases oxidantes (Cl₂, O₂). Mesmo nunha atmosfera de xofre ou halóxeno a 1400 °C, a superficie permanece lisa e libre de corrosión, o que garante que non quede contaminación na superficie da oblea.

3. Longa vida útil e beneficios económicos

Mediante o proceso único de tratamento de densificación superficial, a resistencia ao desgaste da barcaza de carburo de silicio é máis de 15 veces maior que a dos materiais tradicionais. A proba real demostra que despois de 1000 ciclos nunha atmosfera de oxidación a 1400 °C, a rugosidade superficial segue sendo inferior a 0.2 μm de Ra, e os tempos de renovación poden alcanzar de 5 a 8 veces os das barcazas cerámicas ordinarias, o que reduce considerablemente a frecuencia de parada e substitución do equipo, e o aforro global de custos é superior ao 30 %.

Detalle rápido:

1. Outros nomes: barco de cristal de carburo de silicio, portador cerámico de semicondutores.

2. Aplicación: Úsase en procesos de difusión, oxidación e recocido a alta temperatura na fabricación de semicondutores para transportar obleas de silicio e garantir unha distribución uniforme da calor.

3. Parámetros principais: pureza ≥99.99 %, resistencia máxima á temperatura de 1500 ℃, baixo coeficiente de expansión térmica (4.5 × 10-6 / ℃), forte resistencia ao choque térmico.

Tratamento térmico a alta temperatura de obleas de semicondutores (oxidación, recocido, dopado). 

Revestimento e sinterización de obleas na industria fotovoltaica.

Estabilidade a temperaturas ultra altas: resistencia a longo prazo a temperaturas elevadas de 1500 °C, sen deformación nin atenuación do rendemento.

Deseño de baixa contaminación: material de alta pureza + proceso non adhesivo, evita a contaminación por ións metálicos.

Longa vida útil: excelente resistencia aos choques térmicos, vida útil máis longa que o portador de cuarzo de 3 a 5 veces.

Personalización flexible: tamaño do soporte, espazado entre ranuras, personalización da profundidade do tratamento superficial.