EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Portabrocas de cerámica porosa
Detalle rápido:
1. Outros nomes: mandril de baleiro cerámico poroso, mandril poroso de SiC, mandril poroso.
2. Aplicación: Dispositivo de adsorción ao baleiro de alto rendemento deseñado para a adsorción e fixación de precisión de obleas e lingotes, axeitado para a fabricación de semicondutores, corte de obleas, mecanizado de precisión, epitaxia a alta temperatura, gravado, implantación de ións e outros escenarios.
3. Parámetros básicos:
Porosidade axustable (10-200 μm).
Temperatura ultraalta (≤1600 °C), excelente resistencia aos choques térmicos.
Baleiro de adsorción: estándar -90 kPa (pódese personalizar a 100 kPa).
Tamaño da ventosa: admite obleas de 4/6/8/12 polgadas, o tamaño do lingote pódese personalizar.
descrición
O mandril de baleiro cerámico é un dispositivo de adsorción de baleiro de alto rendemento deseñado para a adsorción e fixación de precisión de obleas e lingotes. Adopta unha estrutura composta de anel exterior de cerámica porosa + metal, combinado cun deseño personalizado de canles de aire e poros para lograr unha distribución uniforme da forza de adsorción e unha alta estabilidade. Adecuado para a fabricación de semicondutores, corte de obleas, mecanizado de precisión e outros escenarios, admite ambientes de movemento de alta temperatura e alta velocidade, pode cumprir os requisitos de compatibilidade de varios tamaños de obleas/lingotes.
Servizo personalizado
Personalización do tamaño e da carga
Optimización de estomas e vías respiratorias
Adaptación a un entorno especial
Exemplo de deseño
aplicacións
Fabricación de semicondutores
Crecemento epitaxial: Adsorción estable de obleas de SiC a altas temperaturas para evitar deformacións e contaminación.
Litografía e gravado: posicionamento preciso na plataforma móbil de alta velocidade (aceleración ≤10G) para garantir a precisión da aliñación gráfica.
procesamento de lingotes
Corte e moenda: Adsorción de lingotes de cristal pesado (como zafiro, lingotes de carburo de silicio) para suprimir as fendas nos bordos causadas pola vibración.
Investigación científica e tecnoloxía especial
Recocido a alta temperatura: as ventosas porosas de carburo de silicio funcionan durante moito tempo a 1600 °C, sen deformación nin contaminación por ventilación.
Revestimento ao baleiro: deseño de alta estanqueidade ao aire, compatible co ambiente de cavidade PVD/CVD.
Vantaxe competitiva
Estrutura central e vantaxes do material
1. Deseño composto multicapa
Capa superficial: Cerámica porosa (carburo de silicio poroso ou grafito poroso opcional), apertura axustable (10-200 μm) para garantir a transferencia uniforme da forza de adsorción á superficie da oblea e evitar a concentración local de tensión.
Matriz: estrutura metálica de alta rigidez (aceiro inoxidable ou aliaxe de aluminio) para proporcionar soporte estrutural e estanqueidade.
Vías respiratorias e poros: A rede interna de vías respiratorias mecanizadas con precisión e microporos distribuídos uniformemente permiten unha extracción rápida ao baleiro (forza de adsorción de ata -90 kPa) e unha liberación instantánea.
2. Comparación das propiedades dos materiais
| Material | carburo de silicio poroso | Grafito poroso |
| Resistencia á temperatura | Temperatura ultraalta (≤1600 °C), excelente resistencia ao choque térmico | Temperatura media-alta (≤800 °C), mellor condutividade térmica |
| Durabilidade química | Resistencia á corrosión ácida e alcalina, resistencia á corrosión por plasma | Resistente a gases non oxidantes, menor custo |
| Escena aplicable | Epitaxia a alta temperatura, gravado, implantación de ións | Corte, moenda e envasado de obleas |
3. Parámetros clave de rendemento e técnicos
| descrición | Observación |
| Tamaño do mandril | Admite obleas de 4/6/8/12 polgadas, o tamaño do lingote pódese personalizar |
| carga | Carga máxima dunha soa placa 50 kg (altura ≤300 mm) |
| Temperatura de traballo | Carburo de silicio poroso: -50 °C~1600 °C; Grafito poroso: -50 °C~800 °C |
| baleiro de adsorción | Estándar -90 kPa (personalizable a -100 kPa) |
FAQ
P: Como elixir un mandril de carburo de silicio poroso e un mandril de grafito poroso? Cales son as principais diferenzas entre o mandril de carburo de silicio poroso e o mandril de grafito poroso en procesos de alta temperatura? Como elixir o material axeitado para o escenario de aplicación?
A: Mandril de carburo de silicio poroso:
Resistencia á temperatura: pode funcionar de forma estable a temperaturas extremas ≤1600 °C (como epitaxia de SiC, recocido a alta temperatura), excelente resistencia ao choque térmico, axeitada para a escena de flutuacións drásticas de temperatura.
Resistencia á corrosión: resiste a forte erosión de ácidos, álcalis e plasma, axeitado para gravado, implantación de ións e outros procesos de gas corrosivo.
Mandril de grafito poroso:
Condutividade térmica: Maior condutividade térmica (200-400 W/m·K), axeitada para escenarios que requiren unha transferencia de calor rápida (como a disipación de calor no corte de obleas).
Economía: baixo custo, axeitado para ambientes de temperatura media ≤800 °C (como envasado, moenda).
Suxestións de selección:
Se a temperatura do proceso é > 800 °C ou se require resistencia á corrosión, prefírese o carburo de silicio poroso; se se busca unha temperatura de proceso rendible e baixa, pódese escoller o grafito poroso.
