Barco de obleas de cuarzo de alta pureza

A oblea de cuarzo de alta pureza está feita de area de cuarzo sintética mediante un proceso de fusión por arco, que ten un coeficiente de expansión térmica moi baixo e unha excelente resistencia ao choque térmico para garantir que non haxa risco de deformación ou rachaduras no proceso rápido de subida e baixada. A superficie está pulida con precisión para reducir a contaminación por partículas, o que é axeitado para ambientes agresivos e limpos na fabricación de semicondutores. O produto admite tamaños personalizados (lonxitude 100-500 mm, número de ranuras 2-24) e adáptase a varios tamaños de oblea (4 "-12").

1. Características do material central

Proceso de fusión por arco de area de cuarzo sintética

Usando area de cuarzo de pureza ultra alta (pureza de SiO₂ ≥99.999%), fórmase unha estrutura de vidro de cuarzo amorfo mediante tecnoloxía de fusión por arco. Este proceso elimina os defectos do límite de gran, mellora significativamente a uniformidade do material e garante que as obleas permanezan estables a altas temperaturas (≤1250 °C).

Coeficiente de expansión térmica ultrabaixo

O factor de expansión térmica é tan baixo como 5.5 × 10^-7K^-1(20-300 °C), o que case non permite cambios de tamaño durante os rápidos aumentos e descensos de temperatura (por exemplo, 200 °C/min en procesos de semicondutores), evitando microfendas ou deformacións debidas á tensión térmica.

Optimización da resistencia ao choque térmico

Mediante o proceso de recocido en gradiente, a diferenza de temperatura de tolerancia ao choque térmico pode alcanzar os 1200 ℃ → temperatura ambiente durante máis de 100 ciclos sen rachar, cumprindo os estritos requisitos de implantación de ións, recocido rápido e outros procesos.

2. Mecanizado de precisión e tratamento superficial

Tecnoloxía de pulido a nanoescala

A rugosidade superficial contrólase a Ra≤0.2 μm e o pulido químico-mecánico (CMP) combinado co gravado por plasma úsase para reducir eficazmente a adsorción de partículas, e a limpeza está en consonancia co estándar SEMI F47 (número de partículas ≤10 /[protexido por correo electrónico]μm).

Revestimento antiincrustante (opcional)

O revestimento superficial de carburo de silicio ou nitruro de silicio pódese personalizar para reducir o coeficiente de fricción da superficie de contacto da oblea (μ≤0.05), o que reduce o risco de rabuñaduras e a migración de ións metálicos.

Detalle rápido:

1. Outros nomes: Barquiño de cuarzo, soporte de oblea.

2. Aplicación: Transporte e transmisión en procesos de alta temperatura de obleas semicondutoras, axeitadas para difusión, oxidación e outros procesos.

3. Parámetros principais: pureza ≥99.99 %, resistencia máxima á temperatura 1200 ℃, coeficiente de expansión térmica 5.5 × 10^-7/℃.

1. Procesamento de obleas de semicondutores (forno de difusión, forno de oxidación).

2. Procesamento de obleas de silicio na industria fotovoltaica.

3. Rodamento de obleas experimentais de alta temperatura de grao de laboratorio.

Pureza líder na industria, contido de impurezas metálicas <1 ppm.

Longa vida útil (≥500 ciclos de alta temperatura).

Admite personalización non estándar, ciclo de entrega curto.