Portaobleas de cuarzo

O soporte para barcos de cuarzo Semixlab é unha ferramenta de transporte de alto rendemento deseñada para as industrias de semicondutores, fotovoltaica, LED e electrónica de precisión. Está feito de material de cuarzo sintético de alta pureza. Como consumibles principais en procesos de alta temperatura, os soportes para barcos de cuarzo convertéronse nos portadores ideais para obleas, obleas de silicio, substratos de vidro e outros compoñentes de precisión en difusión, recocido, oxidación, CVD (deposición química de vapor) e outros procesos debido á súa excelente estabilidade térmica, inercia química e vida útil ultralarga, axudando aos clientes a lograr procesos de produción eficientes e estables.

Escenarios ou equipos de aplicación: 

Difusión de semicondutores, recocido, oxidación e proceso de CVD (deposición química en fase de vapor).

Forza da empresa

Semixlab Technology Co., Ltd ten 2 centros de I+D, 2 bases de produción, 12 liñas de produción, máis de 150 empregados e un investimento en I+D que representa máis do 30 %. O deseño do noso produto utilízase principalmente en LED, circuítos integrados IC, semicondutores de terceira xeración, fotovoltaica e outras industrias. Semixlab ten fortes capacidades de I+D, produción e probas e verificación integradas. Ao mesmo tempo, melloramos constantemente a nosa tecnoloxía e equipos cun investimento de decenas de millóns ao ano.

Servizos a medida

Para satisfacer as diversas necesidades, ofrecemos servizos de personalización flexibles e admitimos os seguintes axustes de parámetros:

Especificacións de tamaño: Adáptase a diferentes substratos, como 8 polgadas e 12 polgadas, ou personaliza estruturas con formas especiais segundo os debuxos do cliente.

Tratamento superficial: chorro de area opcional, revestimento (como o revestimento de carburo de silicio) e outros procesos para mellorar a aplicabilidade en escenarios específicos.

Integración de accesorios: pódese combinar con piares de cuarzo, deflectores e outros compoñentes para formar un sistema de transporte completo.

Sistema de garantía de calidade

Probas de materias primas: area de cuarzo de alta pureza importada, analizada por ICP-MS (espectrometría de masas con plasma de acoplamento indutivo).

Control de procesos: mecanizado de precisión CNC + probas automatizadas, tolerancia de dimensión clave ≤±0.05 mm.

Envases limpos: envases de clase 100 para ambientes ultralimpos para evitar a contaminación durante o transporte.

Escenarios de aplicación típicos

Fabricación de semicondutores: utilízase para procesos de recocido a alta temperatura, oxidación e deposición de películas finas de obleas en fornos de difusión e fornos verticais.

Industria fotovoltaica: Transporte e transmisión de células PERC e TOPCon en PECVD, difusión de fósforo e outros procesos.

Epitaxia LED: posicionamento preciso e crecemento epitaxial a alta temperatura de substratos de zafiro en equipos MOCVD.

Campo de investigación: Sinterización e ensaio de materiais en fornos de laboratorio de alta temperatura e ambientes de baleiro.

1. Excelente resistencia a altas temperaturas

O soporte de cuarzo para barcos pode soportar ambientes de alta temperatura por riba dos 1200 ℃ durante moito tempo, cun coeficiente de expansión térmica extremadamente baixo (aproximadamente 5.5 × 10⁻⁷/℃). Aínda pode manter a estabilidade estrutural en condicións de arrefriamento e quecemento rápidos, evitando gretas ou deformacións causadas pola tensión térmica e garantindo a repetibilidade do proceso.

2. Pureza ultraalta e inercia química

Feito de area de cuarzo de alta pureza do 99.99 % ou máis, sen precipitacións, sen contaminación, evita eficazmente que os ións metálicos ou as impurezas particuladas contaminen a superficie da oblea a altas temperaturas, especialmente axeitado para procesos avanzados con requisitos de limpeza estritos (como a fabricación de chips por debaixo de 7 nm).

3. Deseño estrutural de precisión

A superficie do soporte do barco está pulida con alta precisión (rugosidade Ra≤0.2 μm), equipada cunha estrutura de ranura patentada, que pode transportar de forma estable substratos de varios tamaños (como obleas de 8/12 polgadas), garantindo un quecemento e unha circulación de gas uniformes e mellorando a uniformidade do proceso.

4. Vida útil ultra longa

En comparación cos soportes tradicionais de grafito ou cerámica, os materiais de cuarzo teñen unha forte resistencia á corrosión, unha baixa taxa de perda en atmosferas ácidas/alcalinas e un ciclo de uso continuo pode chegar aos 12-24 meses, o que reduce significativamente os custos integrais para o cliente.