Cerámica SiC

A cerámica de SiC úsase cada vez máis en equipos de semicondutores, principalmente porque aguanta mellor en condicións máis duras. Cando a temperatura aumenta ou o proceso se volve máis agresivo, materiais como o cuarzo ou o silicio poden comezar a mostrar límites, e aí é onde adoita entrar o SiC. Nos procesos de forno como a oxidación ou a difusión, as pezas como as obleas ou as paletas feitas de SiC tenden a durar máis. Manteñen a súa forma e non contaminan moito, mesmo despois de longas tiradas. A xente adoita cambiar o cuarzo por este motivo, especialmente cando o mantemento se volve demasiado frecuente.

Para o gravado, o SiC adoita escollerse simplemente porque sobrevive ao plasma durante máis tempo. A diferenza de vida útil en comparación coas pezas de silicio é notable en moitas configuracións, aínda que depende do proceso exacto. Tamén axuda un pouco co control de partículas, que se volve máis sensible a medida que os nodos se reducen. Tamén verás o SiC usado como susceptores en MOCVD ou CVD. Neses casos, trátase menos de "resistencia" e máis de manter estable o comportamento da temperatura. Ademais diso, aparece en pezas da cámara como revestimentos ou cabezales de ducha, e ás veces tamén na manipulación de compoñentes.